VS-0.1真空恒压系统

价格：

￥29800.00

022-86671769

产品详情

VS-0.1真空恒压系统

一、概述

该系统（能把管式炉内的真空度抽到0.1Pa）由带KF25接口的抽气法兰（自制）、高真空挡板法（中科科仪）、电阻真空计、波纹管（中科科仪）、支架（自制）、真空泵、变速器和真空控制器组成。可以使管式炉炉管内压力在0.1-100KPa范围内任意值恒定，您给定一个值，系统会自动让压力恒定在该值，并且没有任何波动。该设备广泛的应用于石墨烯的生长、MOS2生长和需要恒定负压的二维材料的生长，并可配套于MOCVD系统。

二、工作原理：

通过真空泵变速器和真空控制器来控制抽气量的大小，而从使管式炉管内压力控制在一个恒定值。

三、详细参数：

电源	220V
尺寸	600X600X600
波纹管	KF25X1000mm
用该系统抽炉管真空度可达	10Pa
真空挡板阀	KF16
压力恒定范围	0.1KPa ~ 100KPa
压力控制精确度	+/-0.1KPa
压力控制方式	自动控制
FX16(2XZ-4B)真空泵	型号	FX16(2XZ-4B)
	极限分压强气镇关	4X10-2Pa
	进排气接口	KF25
	电机转速	1420r/min
	水蒸气抽速率	500L/h
	电机功率	0.55KW
德国Preiffer ACP15 无油多级罗茨泵	型号	Preiffer　ACP15
	电源	100-220V 550W 50/60HZ
	抽气接口	KF25
	最大抽速	3.8L/S
	极限真空度(Torr)	2.2X10
	最大漏率	< 5X10
	重量	23KG
压力传感器	最小测量单位	0.1KPa
	测压范围	0-100.0KPa
	对应输出信号	4~20mA
	接口规格	KF16

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