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射频电源系统

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PE500 射频电源	功率输出范围	0-500W
	最大反射功率	200W
	工作频率	射频：13.56MHZ±0.005%
	功率稳定度	+/-0.1%
	谐波分量	≤-50dbc
	射频区域宽度	0-600mm 可调
	匹配方式	自动
	冷却方式	分冷
	噪声	<50dB
	射频接口	50Ω N-type

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