FJ-620分子泵机组
FJ-620/FJ-500F型系列复合分子泵机组是由F160/620系列各性能复合分子泵或FF-160/500F系列复合分子泵，前级抽气泵，隔断放气阀，前级管路，断水保护器，分子泵电源、高真空检测系统（复合真空计），控制电源等组装于机架上而成的清洁超高真空获得设备。安装方便，操作简单，易于联接，性能可靠，可广泛用于表面分析，加速器技术，半导体设备，等离子体技术，电真空器件的制造及真空技术各领域。
FJ-620分子泵机组技术性能：
产品型号 | FJ-620 |
进气口法兰 | DN160LF | DN160CF |
抽气速率L/S（对空气） | 600 |
压缩比
N2
H2
| ＞109 6×103 |
建议启动压强
| ＜100 Pa |
极限压强（Pa） | 6×10-6 | 6×10-7 |
排气口法兰 | KF25/KF40 |
使用轴承 | 精密机械轴承 |
输入电压频率（V/Hz） | 380±20/50 |
环境温度（℃） | 0～40 |
前级泵型号 | RVP-6 |
额定工作转数（rpm） | 42，300 |
冷却方式 | 水冷 |
冷却水压力（MPa） | 0.1-0.2 |
冷却水温度（℃） | <25 |
安装方式 | 任意 |
重量（公斤） | 52 |
长×宽×高 | 730×520×700 |
重量 | 117 |
技术参数表
分子泵机组
| 机组输入电压 | 380V /220V |
波纹管 | KF40X1000 |
真空挡板阀 | KF40 |
机箱尺寸 | 600X600X600 |
分子泵
| 分子泵型号 | FJ620 |
输入电压 | 380V |
分子泵进气口法兰 | DN160 |
分子泵抽气速率L/S（对空气） | 600 |
分子泵极限压强（Pa) | 6×10-7 |
冷却方式 | 水冷 |
冷却水压（MPa） | 0.1-0.2 |
冷却水温度 | <25℃ |
环境温度 | 0~40℃ |
建议启东压强 | <100pa |
分子泵前级真空泵TRP-24 (FJ620分子泵必须要配此前级泵)
| 功率 | 0.75KW |
电压 | 380V |
转速 | 1450rpm |
进气口径 | KF25/KF40 |
前机泵抽气速率（L/S） | 6 |
极限压强 | 4X10
-2Pa |
复合真空计
| 复合真空计型号 | ZDF |
电源 | 220V
55W |
控制精度 | ± 1% |
真空计测量范围 | 10-5
-10
5
Pa |
