VS-0.1低真空系统
一、概述
该系统（能把管式炉内的真空度抽到1Pa）由法兰、高真空挡板阀、电阻真空计、波纹管、支架、真空泵组成，在法兰出气嘴处接根三通管，三通管一端接电阻硅，另一端接高真空挡板阀，用Dia25的波纹把挡板阀和真空泵连接起来，连接口用KF25快捷卡箍。
二、真空泵技术参数
产品型号
| FX-16 |
几何抽气速度 m3/h(L/s) | 16（4） |
极限分压强（Pa) | 气镇关 | ≤4X10-2 |
气镇开 | ≤8X10-2 |
极限总压强(Pa) | 气镇关 | ≤5X10-1 |
气镇开 | ≤6X10-1 |
噪音Lw:dB(A) | 气镇关 | 62 |
气镇开 | 65 |
水蒸气允许压强（Pa) | 2000 |
水蒸气抽除率（L/h) | 360 |
进气口径Φ | DN25ISOKF |
出气口径Φ | DN25ISOKF |
转速(r/min) | 1400 |
电动机功率（Kw) | 0.37 |
三、 电阻真空计
ZDR-I/ZDR-I-LED型单路电阻真空计
电阻真空计（又名皮拉尼真空计）采用经过特殊稳定化处理的ZJ-52T电阻规，并对其施与恒功率的新型定温工作方式，同时应用微处理机对规管的非线性进行线性处理。具有性能稳定、量程宽、响应快、漂移小等特性。以及强大可靠的以微处理为核心的继电控制、串行通讯输出、真空模拟量输出等功能。特别适用于真空应用设备的粗、低真空测量与控制。
技术参数：
* 配用规管：ZJ-53B/ZJ-54D电阻规
* 测量范围：105～10-1Pa
* 测量路数：1路
* 控制路数：2路可圹展至4或8路
* 控制范围：5×103～5×10-1Pa
* 控制方式：继电器触点输出，负载能力AC220V/3A (或DC28V/3A)无感负载
* 电源：90-260V/50Hz或220V ±10% 50Hz
* 功耗：25W
性能特点：
* 点控或区域继电控制输出，同时设定点具有掉电保护记忆功能。
* 微机修正规管非线性，减少了测量误差。
* 光电隔离，数字滤波，增强抗干扰能力。
*LED 绿屏数字显示。
* 宽广的测星范围
* 快速的反应速度
*PVC 彩色面板，外型美观大方。
