一、百级无尘烘箱百级无尘干燥箱百级无尘烤箱百级洁净烘箱百级洁净烤箱百级洁净干燥箱简介
WCX系列无尘烘箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
型号 | WCX-1 | WCX-2 | WCX-3 | WCX-4 |
内胆尺寸(宽*深*高) | 60*50*50 | 60*60*100 | 80*80*100 | 140*60*100 |
系统 | 采用耐高温长轴型马达及强力多翼式风叶,强力吸风式机械可得到理想的均匀分布温度,安静低噪音 |
功率 | 4KW | 6KW | 8KW | 10KW |
温度范围 | RT+20~200 | | | |
温度波动度 | ±1℃ |
温度均匀度 | ±5℃ |
升温时间 | 空载时<40分钟 |
材质 | 内室不锈钢无缝焊接保护被加热产品不受任何污染,内中桶镜面不锈钢板,外部一般采用钢板喷塑或不锈钢板。玻璃纤维隔热保温。 |
加热元件 | 无尘不锈钢加热管 |
安全装置 | 超温保护,马达电流保护 |
温度控制 | 自动PID控制。 |
无尘等级 | 洁净度100级 |
标准配件 | 高效微粒空气过滤器,微差压力计,计时器,2块隔板 |
二.百级无尘烘箱百级无尘干燥箱百级无尘烤箱百级洁净烘箱百级洁净烤箱百级洁净干燥箱特点:
1.在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100
2.全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
3.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.A Filter 20"×20"装置往前门(定制的风道设计)方向送风,过滤效率99.99%,Class 100,排气口:3"φ(附自动启闭风门)
4.强制送风循环方式。双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到较佳温度控制精度。
三.百级无尘烘箱百级无尘干燥箱百级无尘烤箱百级洁净烘箱百级洁净烤箱百级洁净干燥箱产品技术参数:
1.主要技术指标:
无尘等级:Class 100; 温度范围: 60~ +300℃;
温度均匀度:200℃±4℃; 温度波动度:±0.5℃(空载)
温控精度:±0.1℃; 工作尺寸:W800×D600×H1300
电源:380v , 50Hz,15KW 网板:2块(高度可调节)
2、百级无尘烘箱百级无尘干燥箱百级无尘烤箱百级洁净烘箱百级洁净烤箱百级洁净干燥箱箱体结构:
烘箱由箱体部分、电器控制柜、电加热及风道系统组装而成,结构合理,外观美观大方;
箱体材料:外箱采用SUS304 ,1.5mm之拉丝不锈钢,并经碱性苏打水清洁,可防止微尘;
内胆材料:采用优良SUS304,2.0mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生 PARTICLE;
中桶材料:采用优良SUS304,2.0mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污及氩焊密封加工(防污染)。
3、温控系统:
采用智能微电脑温度控制器,控制器LED数字显示及设定、PID自动演算、薄膜设定,准确度±0.3%FS。;
讯号来源:采用PT100热电阻±0.5%。
输出被控制组件:SSR无接点讯号输出。
4、完善的安全保护措施:
漏电断路器、 控制线路保险丝装置、 超温防止保护装置、 电热过电流保护装置、
马达过电流保护、 机台异常蜂鸣器警示 逆向防止器、门面安全开关